OL33453833M
Atomic Layer Deposition
Tommi Kääriäinen
- Publisher
- Wiley & Sons, Incorporated, John
- Published
- 2013
- ISBN-13
- 9781118747346
- ISBN-10
- Unavailable
- Work ID
- OL23295314W
Description
Metadata and publication details for Atomic Layer Deposition by Tommi Kääriäinen.